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SEMISHARE研发的卡盘移动技术，可满足您对整片晶圆快速测试的需求，H系列探针台非常适合研发类实验室的 一次性预算购置。
| XY行程范围 | 150mm*150mm/200mm*200mm/300 mm x 300 mm |
| XY行程 | 300mm x 300 mm（满足大范围行程测试） |
| 移动精度/分辨率 | < 1.0 µm (~1 mm/rev) |
| 平面性 | ±5µm |
| theta行程 | 粗调：360° |
| 微调精度：± 8.0° | |
| 分辨率：7.5 x 10-3 gradient | |
| 运动控制 | 气控+大手柄控制 |
| Z轴快速升降 | 快速升降：3mm |
| 微调升降：0-13mm,精度：≤2µm |
| 移动范围 | 50 mm x 50 mm |
| 移动分辨率 | ≤2µm |
| 显微镜Z升降 | 25mm-100mm *取决于显微镜配置 |
| 气动升降50mm | |
| 运动控制 | 独立控制的X和Y旋钮 |
| 材料 | 钢镀镍 |
| 针座数量 | 8 DC and 4 RF(取于针座配置) |
| 卡盘到针座平台下底面距离 | 8mm（卡盘上表面与针座平台下表面） |
| Z-height运动范围 | Max.0-40mm (取于卡盘配置) |
| 针座平台升降 | 3段：分离(300µm)，卡盘装载(2-5mm),不间断升降（0-40mm) |
| 接触重复性 | < ±1µm |
| RF 针座固定 | 磁力吸附/真空吸附 |
| DC 针座固定 | 磁力吸附/真空吸附 |
（*规格和设计如有更改，恕不另行通知。）
