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“如果您的测试PAD大于30μm，M系列则是您在实验室中的优选设备之一”
| 型号 | M4 | M6 mini | M6 | |
| 外形（长*宽*高） | 650*490*620mm | 650*490*620mm | 650*490*620mm | |
| 重量（KG） | 约45kg | 约47kg | 约52kg | |
| 电力需求 | 220VC,50~60Hz | |||
| 卡盘 常温标准 | 卡盘尺寸 | 4" | 6" | 6" |
| 样品固定方式 | 环形及多孔真空吸附（可定制） | |||
| 背电极测试功能 | 有/样品台电学独立悬空 | |||
| 卡盘材质 | 316#不锈钢（可选黄铜镀镍or镀金） | |||
| 卡盘 移动平台 | X-Y行程 | 100*100mm | 100*100mm | 150*150mm |
| 移动精度 | 10μm | |||
| Theta行程 | 360°旋转（粗调）；可旋转微调，微调精度0.002° | |||
| 卡盘升降 | N/A | |||
| 卡盘快速拉出 | N/A | |||
| 控制方式 | 小型旋钮驱动 | |||
| 针座平台 | 平台尺寸 | 长540mm*宽310mm | ||
| 卡盘到平台距离 | 8mm（卡盘上表面与针座平台下表面） | |||
| 针座数量 | 最多可放置6针座（DC×6/RF×4,DC×2) | |||
| 针座平台升降 | N/A | |||
| 针座定位方式 | 磁力吸附或真空吸附 | |||
| 光学特性 | 显微镜规格 | 标配体视显微镜（可选配视频显微镜） | ||
| 放大倍数 | 16~100X | |||
| CCD像素 | 3种CCD可选:200W（数字）/500W（数字）/650W（数字） | |||
| 显微镜控制行程 | 显微镜调焦架控制可360度旋转，Z轴：50.8mm | |||
| 显微镜移动精度 | N/A | |||
| 镜头切换方式 | N/A | |||
| 点针规格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | ||
| 机械精度 | 10μm/2μm/0.7μm | |||
| 漏电精度 | 10pA/100fA （配置屏蔽箱时） | |||
| 接口形式 | 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/三轴接口 | |||
（*规格和设计如有更改，恕不另行通知。）
