XP-703D微量气体检漏仪/气体泄漏报警仪/气体浓度分析仪砷化三氢、*、 硅烷、氢气、

XP-703D微量气体检漏仪/气体泄漏报警仪/气体浓度分析仪砷化三氢、*、 硅烷、氢气、

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2021-01-20 15:32:01
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产品简介

XP-703D微量气体检漏仪/气体泄漏报警仪/气体浓度分析仪砷化三氢、*、 硅烷、氢气、

详细介绍

XP-703D 特长
适用于半导体材料气体的超微量泄漏检测。
通过报及蜂鸣器即可得知气体泄漏。
规格
 
XP-703D
检测对象气体
 
半导体材料气体(砷化三氢、*、 硅烷等)
检测原理
 
热线型半导体式
能检测的泄漏量
能检测的浓度
 
砷化三氢
  AsH3
  1.0×10-7
  0.2
 
*
  PH3
  1.5×10-7
  0.3
 
 
   
  0.5×10-7
  0.1
 
硅烷
  SiH4
  2.5×10-7
  0.5
 
氢气
  H2
  5×10-7 Pa?m3 /s
  1.0 ppm
应答时间
 
10 秒
检测表示
 
蜂鸣器发出断续音且警报灯闪烁
电 源 ※1
 
5号锰干电池4节
电池使用时间
 
使用碱性干电池使用约9小时(使用锰干电池约3小时)
使用温度范围
 
0℃~ 40℃
外形尺寸
 
W68×H155×D32㎜
重量
 
约 400g
附件
 
皮套、排放过滤器、过滤片、检查气体、 标准附属品、5号锰干电池4本
另售的选购件
 
Ni-Cd 电池充电器、耳机

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