测量行程（mm）

250 x 150 x 200

300 x 200 x 200

400 x 300 x 200

外形尺寸（mm）

750 x 575 x 1650

805 x 635 x 1650

931 x 735 x 1650

重量（kg）

230

300

380

工作台承重（kg）

30

30

30

运动控制

全闭环三轴自动控制

测量精度（μm）

X/Y轴

E2 = (3.0 + L/200)

Z轴

E1 = (5.0 + L/200)

速度（mm/s）

X/Y轴

300

Z轴

200

光源控制

表面光

五环八区四十项程控式LED冷光源

轮廓光

程控式LED平行冷光源，256级可调

同轴光

可选配

放大倍率

光学放大0.7 ~ 4.5x，影像放大22 ~ 145x

影像系统CCD

高灵敏度高分辨率1/2” 黑白/彩色CCD

光栅尺

分辨率0.5μm

软件

FRIMS专用测量软件（FVA-M版）

工作环境

温度

20±2℃

湿度

30% ~ 80%

振动

＜0.002g, 低于15Hz

电源

210V ~ 230V, 50Hz/60Hz