专注微小流量测量微气体质量流量计

微气体质量流量计的概述：

采用关键矽微机械加工技术的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS（ Microelectromechanical systems）气体质量流量计和流量控制器，主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。
该产品能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是可靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，无需要温度压力补偿。

微气体质量流量计的技术参数：

2.1  测量介质：各种气体（乙炔气和混合气体除外）
2.2  流量范围：DN3   30-300ml/min
              DN6   60-600ml/min
              DN8   80-800ml/min
              DN10  100-1000ml/min            
注：
  a)以上流量的测量介质为空气而言；
  b)以上流量的标准状态20℃，101.325kPa。
  c) 每个口径量程范围均可扩大
  d)特殊需要可单独标定
2.3   流量测量准确度：±1.5%FS；±2.5%FS
2.4   工作温度范围：0-55℃；
2.5   工作压力范围：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
2.6   供电电源：24VDC±10%；
2.7   输出信号：4-20mA，RS485通讯；
2.8   环境温度：0-55℃；
2.9   显示位数：瞬时流量为三位，累积流量10位。

微气体质量流量计的型号命名

专注微小流量测量微气体质量流量计的机械尺寸