微小气体流量计选型

技术参数：

2.1  测量介质：各种气体（乙炔气和混合气体除外）

2.2  流量范围：DN3   30-300ml/min

DN6   60-600ml/min

DN8   80-800ml/min

DN10  100-1000ml/min

注：

a)以上流量的测量介质为空气而言；

b)以上流量的标准状态20℃，101.325kPa。

c) 每个口径量程范围均可扩大

d)特殊需要可单独标定

2.3   流量测量准确度：±1.5%FS；±2.5%FS

2.4   工作温度范围：0-55℃；

2.5   工作压力范围：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa

2.6   供电电源：24VDC±10%；

2.7   输出信号：4-20mA，RS485通讯；

2.8   环境温度：0-55℃；

2.9   显示位数：瞬时流量为三位，累积流量10位。

微小气体流量计选型

工作原理：

uf感热式芯片技术是采用大规模集成电阻的工作， 保证传感器的高度*，解决了：“现在传统的热式质量流量计无法保证其传感器的电阻值的*性，导致传感器在各个法线方向热传导速度的差异，所以传统的热式质量流量计在传感器校准和使用过程中产品稳定性存在问题，实际应用中的热式质量流量计价格昂贵，大规模应用比较难”的问题。而uf感热式芯片的功耗大大小于普通的热式质量流量计，同时可靠性稳定,安全性更好。

在芯片上，一个微热源及分别处于微热源上下游的温度传感器集成在采用MEMS的*工艺制作的镂空桥面上。采用这这样的桥式方式制作有利于热传导，使动态响应时间大大提高。当传感器工作时，微热源与环境温度之间保持一定的温差（通常是70℃），在芯片周围形成固定的温度场分布。如果气体是单向流动，则在气道中温度场可用下述公式来计算：

[微小气体质量流量计]

式中：气体流动方向为ｘ，速度为ｖ，ａ为扩散率。

如上图（式）所示，当气体流过芯片时，将会带走热量，通过质量流量qm和电压V的对应关系来计算流体的质量流量。

机械尺寸

SCMFM微气体质量流量计的输出

PIN1：报警输出2

PIN2：报警输出1

PIN4：RS485B

PIN5：RS485A

PIN11：电源负端（0V）

PIN12：电断正端（24V）

PIN14：LOOP-

PIN15：LOOP+

PIN3、6~10、13：信号地（报警信号参考地）

8.2 报警连接