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| 测量范围 | 薄膜厚度范围：1nm-300nm；折射率范围：1-10 | 偏振器方位角范围 | 0°-180°读取分辨率为0.05° |
| 入射光波长 | 632.8nm | 偏振器步进角 | 0.014°/步 |
| 入射角调节范围 | 20°- 90°精度≤0.05° | 测量膜厚 | ±0.5nm |
| 光学中心高 | 80mm | 折射率重复性精度 | ±0.05 |
| 测量厚度较小示值 | ≤1nm | 仪器测量精度 | ±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm时） |
| 允许样品尺寸 | φ10-φ140mm，厚度≤15mm | 外形尺寸 | 580×390×320（mm） |
| 度盘刻度 | 每格1度 | 主机重量 | 28kg |
