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SF6微水测量仪-电子/半导体检测仪器
面议SF6微水测量仪-电子/半导体检测仪器
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面议ZCWS-242SF6微水测量仪-电子/半导体检测仪器
面议ZCWS-262微机型SF6微水测量仪-电子/半导体检测仪器
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面议ZCSD-IV高精度SF6纯度分析仪
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面议ZCQH--55SF6气体回收装置
一、回收装置主要组成部件及其优点:
(1)设计*,功能齐全,结构合理,操作简洁明了。
(2)压缩系统:采用SF6封闭耐氟压缩机,无泄漏。
(3)抽真空系统采用双级旋片式真空泵,在系统中设有自动防止返回油装置。
(4)净化系统采用EMERSON公司原理过滤器,过滤器采用电加热及内装高效吸附剂,净化效果更显著(无需频繁更换吸附剂)。
(5)装置电气系统三相电源自动确认、断相自动保护。
(6)装置控制系统采用技术的SF6阀门
(7)贮存系统按用户要求配置50KG贮罐。
(8)设备采用移动式。
ZCQH--55SF6气体回收装置
二、主要技术性能指标
(1)型式:移动式、制冷式
(2)工作原理
a、使用压缩机压力储存SF6气体。
b、干燥器辅助气体回收和回充。
c、充气时经缓冲气化充入(可加热)。
(3)工作环境温度: -10℃- +40℃
(4)主要性能及技术参数
1、装置极限真空度<10Pa /100Pa
2、装置抽真空速率40-60m3/h (真空泵极限真空度小于0.06Pa)
3、装置充气初压力<133Pa(用户要求自定)
4、装置充气终压力≤0.8MPa
5、装置充气速率>12m3/h
6、装置回收初压力≤0.8MPa
7、装置回收终压力<0.05MPa
8、装置回收压缩机速率15m3/h
9、装置年泄漏率<1%
10、装置贮罐zui高设计压力4.8MPa
11、贮罐容积50KG
12、外形尺寸约1500mm×1100mm×1080mm
13、贮存方式:汽、液态
14、噪声≤75dB声压级
15、干燥过滤器再生方式:真空再生加热活化处理
16、电源:交流三相/380V±10%、50HZ
17、装置总功率<8KW
18、装置重量:650KG
三、装置的主要组成部件及功能
装置的主要功能件有压缩机、真空泵、冷凝系统、干燥过滤再生器、加热器、净化器、过滤器、管道、阀门、仪表控制、电气控制以及结构件,框架面板、走轮和贮罐等。
四、装置主要部件配置参数如下:
1、SF6压缩机:BF-S31耐氟压缩机 (欧洲原装 H280CC)
a:理论排气量:0-12m3/h 12-15m3/h
b:zui大排气压力:2.5Mpa 3.5Mpa
c:zui小吸气压力:53Kpa
d:zui大吸气压力:1Mpa
e:功率:3KW
f:电源:380V 50HZ
2、抽真空系统采用双级旋片式真空泵:2X-15A (德国独资BAOSI BSV60)
a:真空泵采用风冷式可*运行
b:抽真空速率54m3/h (抽真空速率54m3/h)
c:极限真空度0.06pa
d:功率2.2KW
3、过滤系统(净化系统:采用D-48滤芯,过滤器双级过滤,真空活化再生处理)
(采用进口EMERSON滤芯等包含油气过滤/颗粒过滤/酸性物质、分解物净化/微水过滤/)
4、SF6阀门:不锈钢锻压高压球阀 DN15 SF6 6.5MPa
(SF6阀门: 不锈钢锻压 球阀 SF6德国独资3-365R01 / 安全阀)
5、压力表、真空表:(1413)、热偶真空计
6、装置保修一年,终身维护