露光机
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广州奥普士光电有限公司
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散热一体型固态继电器
A5P系列
J1N系列
解析度:≤2.0μm
镜头-NA:0.2/0.16
露光范围:15mm×15mm
露光用波长:405nm
校直系统精度:≤0.3μm
试料尺寸:2"-6"
露光量:可达100个试料/小时
尺寸:1150×1940×2080mm
重量:1750kg
聚焦
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