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露光机

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广州奥普士光电有限公司

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产品简介

Expose Steppers ★广泛应用于微电机、LED、微电子等行业 ★宽程聚焦、点对点校正 ★尼康超级镜头实现1μm分辨率 ★校直系统精度≤0.3μm ★良好人机界面，操作简便

解析度：≤2.0μm

镜头-NA：0.2/0.16

露光范围：15mm×15mm

露光用波长：405nm

校直系统精度：≤0.3μm

试料尺寸：2"-6"

露光量：可达100个试料/小时

尺寸：1150×1940×2080mm

重量：1750kg

聚焦

应用：

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