由于炉内低氮燃烧技术的局限性,使得NOx的排放不能达到令人满意的程度,为了进一步降低NOx的排放,必须进行烟气脱硝处理。通行的烟气脱硝技术工艺大致可分为干法、半干法和湿法3类。其中干法包括选择性非催化还原法( SNCR)、选择性催化还原法(SCR)、电子束联合脱硫脱硝法;半干法有活性炭联合脱硫脱硝法;湿法有臭氧氧化吸收法等。

制药厂废气脱硫处理设备电子束的发生原理：电子束发生装置是由直流高压电发生装置和电子加速器组成的。电子束的发生原理和电视机显像管的原理相似。电视机是将产生的电子束通过磁场的作用而变换成必要的角度，然后打到荧光屏上形成图像。本电子束处理的原理是先把废气导入反应器内，然后用电子束通过照射孔对废气进行照射使其脱硫、脱硝。
电子束辐射装置是由冷却塔、反应器、电子束发生装置、副产品集尘器组成的。对温度150 ℃左右的烟气，先用集尘器大致除去飘尘，然后通过冷却塔喷水，将其冷却到适合脱硫、脱硝反应的合适温度(约65 ℃)。排烟露点通常为50 ℃左右，喷水在冷却塔内*气化，所以不会有废液排出，然后将根据SOX浓度和NOX浓度定量地将氨注入烟气，再导入反应器，在此用电子束照射烟气，由于电子束照射，烟气中的SOX和NOX在极短的时间内氧化，分别变为中间生成物x酸和硝x。它们与共存的氨进行中和反应生成粉状微粒。通过干式电除尘器分离，收集这些粉状微粒后，再将净化后的烟气用抽风机通过烟囱排入大气。

电子束工艺设备相对简单,数量较少,其工艺系统主要由脱硫反应系统、烟气系统、副产品处理系统、电气与仪表控制系统组成。主要设备是电子束装置和反应器。目前废气处理设备新技术电子束法简写为EBA,EBA是目前是*的废气处理设备烟气处理技术之一，其原理是利用高能电子加速器产生的电子束(500-800KEV)辐照处理烟气，将烟气中的SO2和氮氧化物转化xx铵和xx铵。

电子束法可达到90 %以上的脱硫率和80%以上的脱硝率 ,且不产生废弃物 ,被认为是一种zui有应用前景的低成本烟气处理工艺。

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