产品概述：

锦正茂高低温真空探针台可进行真空环境下的高低温测试（4.2K~500K），可升级加载磁场，低温防辐射屏设计，样品台采用高纯度无氧铜制作，温度均匀性更好，温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置，支持光纤光谱特性测试，兼容高倍率金相显微镜，可微调移动，器件的高频特性(支持频率上达67GHz)，探针热沉设计，LD/LED/PD的光强/波长测试，自动流量控制，材料/器件的IV/CV特性测试等。

应用范围：

锦正茂高低温真空探针台应用于高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等。

探针台选型注意事项

※*大需要测几inch的晶圆或者器件？是否需要测试破片或者单颗芯片，*小的单颗芯片尺寸？

※探针台机械精度要求多高？

※点测样品的电极尺寸？100μm *100μm或60μm *60μm的pad，还是FIB制作的mini pad，或者ic内部的metal线路？

※*多需要几个探针同时去点测？

※是否会用到探针卡测试？

※光学显微镜的*小分辨率需要用到多少？

※显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测？

※探针点测时，对电流的要**否达到100fa或者以下？低电容要**否要做到0.1pf？是否有射频需求？

※接驳的测试仪器接口有哪些？

※测试环境时是否会需要加热或者降温？ 是否需要密闭腔体？

※对chuck的漏电要求怎样？是否需要添加低阻抗chuck？

※是否需要防震桌？

※若添置防震桌，是否有压缩空气？