CKD PLC对应型模块集成阀注意事项

特点：
化学气体供给设备用元件、氮气清洗关联元件
采用盒式设计，是进一步实现了小型化（高39.5mm）的高性能
3・4通模块集成阀。适用缸径：Φ20～Φ40
应用：半导体制造工序（前工序）化学液体供给设备用元件、
功能介绍：
实现了轻量化、材料用量的减少和节能化。

CKD PLC对应型模块集成阀注意事项
以焊接的无铅化为主，使用材料符合JIG-101A A标准。
高性能模块集成阀，不仅可节省空间，
还具有异的响应性。（N3E0系列内置2个3通阀：
率致力于减少影响环境的化学物质的使用，
A.B气口均为12ms）保护环境，通过小型化、省电化，
薄型、省空间，MN3/4E00系列薄仅7mm，
有助于节省空间。MN3/4E0系列为厚度仅10mm的
概述：
防止异物混入用的供气过滤网。节能型产品（选择项E）耗电更低。
支持个别配线。还备有可简单插入的减压阀模块。
接头种类丰富，快插接头对应英制尺寸，适合欧美市场使用。
还支持Φ3、φ1.8气管，有利于配管的省空间化。丰富的电线连接，
备有各种接插件以及对应多种网络的串行传输产品。

德国BOSCH-REXROTH博士力士乐；美国VICKERS威格士；美国PARKER派克；日本YUKEN油研；日本不二越NACHI；德国HYDAC贺德克；美国DENISON丹尼逊 ；意大利ATOS；德国FIUTEC