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CMS系列气体质量流量计是高可靠型气体质量流量计，CMS系列气体质量流量计使用了由山武公司新近开发的微流量传感器，这种传感器是感热式流量传感单元。超小型结构，高精度的传感器，高密度集成电路设计技术的结合使这种仪表具有精度高、测量范围大且成本低的优点
| ECM3000G913C AZBIL | |
| 微动开关SL1-EK 山武 | |
| 5LS1-JSEC 山武 | |
| MC9-01D2-3BA3 | |
| HP7-E11／ER11 | |
| 行程开关\VCX-7103-P-901 | |
| VY5135L0013 | |
| AZBIL阀，MVS-3514YCG ，线圈电压24VDC | |
| 1LS19-JL | |
| AZBIL SDC15C15MTR0RA0100 | |
| AZBIL 行程开关 1LS10-JG。 | |
| AVP102-H (Azbil | |
| AZBIL NX-D25NT4C20可以替代 NX-D15NT4C2 0， | |
| AZBIL NX-D15NT4C2 0 | |
| C15MTR0RA0300 | |
| AZBIL KZ03-2B | |
| AZBIL 接近开关_FL7M-4J6AD-CN03 | |
| azbil 山武 AVP302-BSD3A R-9C8AC-41-031 | |
CMQ系列气体质量流量计是高机能型数字式气体质量流量控制器，它使用了山武公司研制的感热式微流量传感器uF和比例电磁阀的先进技术。因此CMQ是一种高性能、低成本的产品。CMQ具有相应快、控制范围宽的特点，能满足多种工业控制要求。
YAMATAKE流量计ECM3000F0110
