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位移传感器|电涡流位移传感器
超精密电涡流位移传感器
有埃米级分辨率电涡流位移传感器SMU9000、SMT9700,
电涡流位移传感器
其典型应用：
光学平台位置测量；半导体和光器件的研磨闭环测控；半导体模板对齐系统定位；半导体蒸镀系统定位；
电子显微镜垂直轴定位；原子显微镜垂直轴定位；磁悬浮轴控制；部件研磨加工的精确定位；镜片定位控制；
物质收缩测试测量；机械结构变形探测与测试；高精度照排3D位置测量；读写头制造，研磨板定位；
有纳米级高稳定差动电涡流位移传感器KD5100
电涡流位移传感器 特点：
-超高分辨率，1埃
-信噪音比：1PPM
-精确度0.1%，通过计算机校准；
-频响：0～10KHZ
