S48 32/HMT说明书
时间：2014-09-18 阅读：1310
1.3S48 32/HMT质量流量控制器(流量计)的特点
S48 32/HMT型质量流量控制器（流量计）是在Horiba-STEC引进技术基础上，结合国内需要而研制的一种质量流量控制器产品。
☆具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。气阻较小，工作压力范围宽。
☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性强。
☆可任意位置安装。
☆电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合工作。
技术指标
编号 | 项目 | S48 32/HMT S49-32BA/MT |
1 | 流量规格 | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (0～1,2,3,5,10，20，30，50)L/min |
2 | 调节阀类型 | 电磁调节阀 |
3 | 调节阀静止状态 | 常闭 |
4 | 安装方向 | 任意 |
5 | 流量控制范围 | 2%～ |
6 | 流量测量范围 | 0～ |
7 | 零点温漂 | ±30mV（15℃～35℃） |
8 | 响应时间 | 2S（T98，设定值的±2% F.S） |
9 | 工作环境温度 | 5℃～50℃ |
10 | 精度保证温度 | 15℃～35℃ |
11 | 精度 | ±1.0%F.S |
12 | 线性精度 | ±0.5%F.S |
13 | 重复性 | ±0.2%F.S |
14 | 工作压差 | ＜10L/min (50～300)kPa，其余规格(100～300)kPa |
15 | 耐压 | 3MPa |
16 | 泄漏率 | 1×10-8 Pa•m3／s （He） |
17 | 接触气体材料 | 316L、PTFE、Viton氟橡胶 |
18 | 管路接头 | 1/4Swagelok,Φ6～Φ10 |
19 | 供电电源 | ±15VDC(±5%)。 +15V＜100mA,-15V＜150mA |
20 | 设定信号 | (0～5)VDC 输入阻抗＞1MΩ |
21 | 流量输出信号 | (0～5)VDC 负载能力≤3mA |
22 | 电气接头 | D-SUB15 |
23 | 外形尺寸mm | 113(宽)×121（高）×32（厚）
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24 | 重量(Kg) | 0.94 |
安装环境
本产品为室内使用产品，工作环境温度为5～45℃，相对湿度40～60%。
应注意安装环境远离振动、尘埃、电磁干扰等。
要求使用的气体洁净、无水汽及凝结可能，如客户使用强腐蚀性气体需在订
货时说明。
开机操作
接通电源后，先预热15 分钟，再通气工作，以保证测量的准确度。
比如：通电时，将阀控开关置于“关闭”位置并将设定电位器调到零，待零点稳定后，将阀控开关转到“阀控”位，然后再将设定流量调到您需要的值，实际流量将跟踪设定值而改变。
清洗与关闭功能
将阀控开关置为“清洗”位，阀将打开到zui大，如果气路上下游存在工作压差，将会有很大的气流通过，此功能可用于吹洗管路，或用于排除MFC 内部及其管路残存的其他气体。清洗时的气流量可达该控制器额定满量程流量的几倍至十几倍。
关机
断电源后，气流自动截止。推荐先关气，后断电源。