惰性气体质量流量计具有如下技术优势：

• 真正的管道式热式气体质量流量计，对气体流量测量无需温度和压力补偿，测量方便、准确。可得到气体的质量流量或者标准体积流量。
• 宽量程比，可测量流速高至120Nm/s低至0.1Nm/s的气体，可以用于气体检漏。
• 抗震性能好使用寿命长。传感器无活动部件和压力传感部件，不受震动对测量精度的影响。
• 安装维修简便。在现场条件允许的情况下，可以实现不停产安装和维护。（需要特殊定制）
• 数字化设计。整体数字化电路测量，测量准确、维修方便。
• 采用RS-485通讯，或HART通讯，可以实现工厂自动化、集成化。

惰性气体质量流量计是基于热扩散原理而设计的，该仪表采用恒温差法对气体进行准确测量。具有体积小、数字化程度高、安装方便，测量准确等优点。

传感器部分由两个基准级铂电阻温度传感器组成，仪表工作时，一个传感器不间断地测量介质温度T1；另一个传感器自加热到高于介质温度T2，它用于感测流体流速，称为速度传感器。该温度ΔT=T2-T1，T2>T1，当有流体流过时，由于气体分子碰撞传感器并将T2的热量带走，使T2的温度下降，若要使ΔT保持不变，就要提高T2的供电电流，气体流动速度越快，带走的热量也就越多，气体流速和增加的热量存在固定的函数关系，这就是恒温差原理。