(激光/电子束) 辅助化学束外延系统MOMBE/GSMBE

化学束外延——大面积、均匀薄膜、成分梯度及化学梯度薄膜、多元及掺杂

（激光/EUV/X-Ray/电子/离子）束辅助化学束外延系统 - GMMBE/MOMBE

高真空-化学气相沉积系统（HV-CVD）