压阻式压力传感器的工作原理
时间:2014-06-24 阅读:1992
压阻式压力传感器属于哪种压力变送器?主要用在哪些方面?压阻式压力传感器利用什么原理工作的呢?亲,您稍等我们为您解释。
压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应而构成,其工作原理如图2-2-9所示。采用单晶硅片为弹性元件,在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺.在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻,并将电阻接成桥路,单晶硅片置于传感器腔内。当压力发生变化时,单晶硅产生应变,使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成比例的变化,再由桥式电路获相应的电压输出信号。
压阻式压力传感器具有精度高、工作可靠、频率响应高、迟滞小、尺寸小、重量轻、结构简单等特点,可以适应恶劣的环境条件下工作,便于实现显示数字化。压阻式压力传感器不仅可以用来测量压力,若稍加改变,还可以用来测量差压、高度、速度、加速度等参数。