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缩短观察时间 高通量扫描
通过新开发的可快速响应的HT扫描器以及软件与控制系统设计的优化，成功实现以传统设备5倍以上的速度（与本公司相比）获取图像数据。
扫描器可简单更换，因而可使用传统扫描器。另外，可通过在原SPM-9700上追加HT扫描器，实现设备的高效率分析。
分析案例
? 金属蒸镀膜的表面粗糙度分析
以1Hz和5Hz的扫描速度对金属蒸镀膜的表面形貌进行观察。画质及表面粗糙度的分析结果相同。
? 光栅沟槽形状检测
以1Hz和5Hz的扫描速度对光栅的表面形貌进行观察。经过断面形状分析，沟槽形状检测结果均相同。
