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单晶硅谐振式传感器的特点

时间:2013-09-18      阅读:3094

       单晶硅谐振式传感器是一块单晶硅芯片上采用微电子机械加工技术,在单晶硅芯片上制成两个*一致的H形状的谐振梁,并以一定的频率产生振动。其谐振频率取决于梁的长度和张力,其梁的长度已经确定,而张力是随压力变化而变化。从而把压力的变化转换成频率的变化,对差压采用频率差分技术,并将频率差信号直接输出到CPU进行运算和A/D转换。
         单晶硅压力变送器具有如下特点:  
1、精度高:由于传感器使用的是单晶硅谐振式传感器,其优良的性能保证了测量的精度,变送器的精度可达到±0.065%,这是其他变送器*的。  
2、稳定性好:由于电路采用了特性修正存贮器,对采集到的温度、静压数据通过CPU运算,修正因此产生的测量漂移。同时,智能转换器采用了大规模集成电路,并将放大器AISC化,减少了零部件,提高了放大器的自身可靠性,使仪表具有非常可靠的稳定性和重复性。 
3、静压特性好:由于两个谐振梁加工工艺精密,尺寸*一致,且处于同一表面,故在受压后产生的频率变化是相同的,其差值保持不变。因此,在静压引入仪表时对测量几乎没有影响,保证了测量的精度。  
4、具有良好的单向受压特性:变送器具有非常优良的承受反复交替的高压侧、低压侧反复受压的能力,其数值可大16Mpa。其受压时间可达30S。其优点是安装时可以省去平衡阀,节省投资。另一方面可以防止因误操作或导压管堵塞造成变送器单向受压损坏,可以避免因此给企业造成的损失。  
5、具有较宽的测量范围,但衡量一种变送器是否具有较宽的测量范围外,还需要考虑变送器的各部分材质和许多附加规格是否能一机多用,EJA变送器在这一点上显示了较好的*性,其接液部件材质、本体和排气阀材质均采用JISSUS316,膜盒材质采用JISSUS316L(膜片采用的是哈氏合金C-276),这样的高耐腐蚀材质,大大提高了变送器的通用性。因此,宽的量程比,通用性的接液部件材质,附加规格的减少,可使变送器的实用性和通用性得以提高,给设计者和使用者带来方便。同时,也减少了备表的数量和种类,为企业减少了维护费用。  
6、方便的组态能力和自诊断功能,另外,对变送器的自诊断功能可以显示变送器的运行状况和故障信息,从而,指导检修维护人员对故障的分析和判断。
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