硅晶片真空箱的真空度显示
时间：2021-09-01 阅读：603
一、硅晶片真空箱箱体规格
型号 | 内箱尺寸（W*H*Dmm） | 外箱尺寸（W*H*Dmm） | 真空泵 | 电源 |
HE-WD-300 | 300*300*300 | 1000*1580*920 | 4升 | AC 220V 50Hz 3.5KW |
HE-WD-400 | 400*400*400 | 1000*1580*920 | 4升 | AC 220V 50Hz 4.5KW |
HE-WD-500 | 500*500*500 | 1000*1580*920 | 4升 | AC 220V 50Hz 5.5KW |
HE-WD-600 | 600*600*600 | 1000*1580*920 | 4升 | AC 380V 50Hz 9KW |
HE-WD-700 | 700*700*700 | 1000*1580*920 | 8升 | AC 380V 50Hz 12KW |
HE-WD-800 | 800*800*800 | 1100*1680*1050 | 8升 | AC 380V 50Hz 15KW |
HE-WD-1000 | 1000*1000*1000 | 1350*1620*1300 | 8升 | AC 380V 50Hz 20KW |
箱体结构：连体式，真空泵置于机台下部；
隔层：内分二层，配网板二块，可活动抽出；
面板安装：控制面板安装于机台下方（如设备外观图）；
开门方式：单由右至左开启;
可视窗：门上带可视窗，规格W250×H300mm；
内箱材料为：304#不锈钢工业板；内箱加强处理，抽真空不变形；
保温材质为：耐高温岩棉，保温层厚100mm，保温效果好；
二、硅晶片真空箱控温系统
1、控制为PID数显仪表；
2、加热体为耐高温发热管；
3、温度范围：常温+30℃～200℃
4、控制精度：±0.5℃
5、显示精度：0.1℃
6、箱内温度均匀度：±5℃%(无真空时，空箱测试)
7、升温速率：RT→100℃（约30分钟）
三、真空系统
1、本机采用高密封性的硅胶密封条保障整机的密封性；
2、采用数显示式真空表直接显示内箱真空度，让你即时了解箱体内的真空状态，真空度达到0－-0.1Mpa (即:100pa真空度)
3、真空度：0～-101KPa（数显式负压真空表，显示相对压力值）
4、真空表显示精度：0.1KPa
5、真空保压泄漏率：约0.8KPa每小时
四、充氮气装置
1、调压阀：控制氮气压力，正常使用下氮气压力调为2.5公斤左右；
2、面板流量计：控制氮气进入箱内的大小，量程为10L/min-60Lmin；
3、氮气管道进入到箱内正后面，调压阀处预留8mm快插气管接口；
4、注：氮气由用户自备。
