3 种频率选件:1 MHz 至 500 MHz/1 GHz/3 GHz,可升级
±0.65% 基本精度和 120 mΩ 至 52 kΩ 阻抗范围(10% 测量精度范围)
测量参数:|Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、|Γ|、Γx、Γy、θΓ、Vac、Iac、Vdc1、Idc1(1. 需要选件 001)
内置直流偏置(选件 001):0 V 至 ±40 V,0 A 至 ±100 mA
10.4 英寸彩色 LCD 触摸屏可显示 4 个通道和 4 条迹线
数据分析功能:等效电路分析、极限线测试
介电/磁性材料测量(选件 002):|εr|、εr'、εr''、tanδ(ε)、|μr|、μr'、μr''、tanδ(μ)
提供温度特征测量(选件 007)和可靠的晶圆上测量(选件 010)