极限真空度是指真空泵在抽取气体并达到稳定状态后，泵内气体压力的最小值，这个值通常是相对于标准大气压（1个大气压）来测量的。在理想情况下，这个压力值可以低至10^-6个大气压，即“超高真空”范围。

　　真空雾化炉的极限真空度主要由其设计和制造过程中涉及的物理原理和材料性能所决定，以下是一些关键因素：

　　1.泵的选择：泵的极限真空度直接决定了整个雾化炉的极限真空度。一般来说，使用油封旋转泵或者干式机械泵能达到的极限真空度大约为10^-5至10^-6大气压。

　　2.泵的抽速：泵的抽速也是需要考虑的因素。如果泵的抽速不足，那么在达到极限真空度时，炉内的压力将会更高。

　　3.炉体的密封性：炉体的密封性能对于维持极限真空度至关重要。任何微小的泄漏都会导致炉内压力上升，从而使极限真空度降低。

　　4.材料的选取：制造炉体的材料必须能够承受一定的压力和温度，同时还要有良好的密封性能。

　　5.冷却系统的设计：为了防止过热导致材料变形或破坏，雾化炉需要有良好的冷却系统。这不仅包括对炉体的冷却，还包括对泵和管道的冷却。

　　在实际操作中，达到和维持极限真空度需要遵循一定的操作规程。首先，要确保所有设备和管道都经过严格的清洁和干燥处理，以防止任何可能的污染或水分进入。其次，启动泵前要确保泵内充满了所需的工作流体，这有助于提高泵的抽速并防止过热。最后，操作过程中要密切监控设备的运行状态，包括泵的抽速、炉内的压力等，以便及时发现问题并进行调整。

　　真空雾化炉的极限真空度受多种因素影响，包括泵的选择、泵的抽速、炉体的密封性、材料的选取以及冷却系统的设计等。为了达到理想的极限真空度，必须对这些因素有深入的理解并采取适当的措施。同时，在实际操作中还需严格遵守操作规程，以保证设备的稳定运行并满足工艺需求。