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BROOKS美国BROOKS布鲁克斯质量流量计
布鲁克斯/Brooks 气体质量流量控制器和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业 参考价面议 -
SLAMF60布鲁克斯SLAMF60防爆质量流量控制器 质量流量计
•易维护
•快速响应设定变化
•可忽略过冲/下冲影响
•可拆除传感器
•对安装方位不要求
•较大的流量控制范围（大可达30 sl/min N2）
•外置零点和量程调节电位器
•跳线可设定软启动
•可设定外部电磁阀控制
•不要求中止流量
•常闭阀（可选常开阀）
•可兼容其他流量控制器
•抗腐蚀 参考价面议 -
SLAMF50布鲁克斯SLAMF50防爆质量流量控制器 质量流量计
SLAMF50_防爆型数模橡胶密封质量流量控制器（30C51L）
数模橡胶密封;
流量范围:0.003-30 slpm;
耐压:100 Bar
精度:±1.0% of rate（20%- FS）;
±0.2% FS（below 20% FS）;
±1.0% of FS（1100-2500 slpm）
单位：台
产地：美国
交货周期：6周
保期：一年
验收标准：OEM标准 参考价面议 -
GF125CXXC布鲁克斯GF125CXXC特气流量计 质量流量计
BROOKS MFC 气体质量流量计
MODEL型号：GF100CXXC
GAS气体：1%PH3/N2
FLOW RANGE流量: 200SCCM
INPUT PRESSURE进口压力:：0.3MPA
OUTPUT PRESSURE出口压力：0.1MPA
O-RING SEAL 密封:：Metal Seal
FITTING气路接头:：1/4“ MVCR
OUTPUT 信号输出：0-5V 参考价面议 -
GF100CXXC布鲁克斯GF100CXXC特气流量计 质量流量计
BROOKS MFC 气体质量流量计
MODEL型号：GF100CXXC
GAS气体：1%PH3/N2
FLOW RANGE流量: 200SCCM
INPUT PRESSURE进口压力:：0.3MPA
OUTPUT PRESSURE出口压力：0.1MPA
O-RING SEAL 密封:：Metal Seal
FITTING气路接头:：1/4“ MVCR
OUTPUT 信号输出：0-5V 参考价面议 -
布鲁克斯GF100BROOKS布鲁克斯GF80特气流量计 质量流量计
美国BROOKS布鲁克斯公司热式质量流量计是为了满足有关工艺过程中对测量精度、重复性和控制方面的要求而设计的产品。它与传统的体积流量仪器截然不同，BROOKS质量流量计通过被测气体的比热来测量流量，不受温度、压力变化的影响。因此该产品在各种不同的工作环境下均有较高的精度。被测流量可设计成质量或体积单位。此外，所有BROOKS INSTRUMENT质量流量计产品都能同现有的工业仪表兼容，安装简便。 参考价面议 -
SLA5853S布鲁克斯SLA5853S数字型质量流量控制器 质量流量计
质量流量计（30C51L）布鲁克斯/Brooks气体质量流量控制器和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。 参考价面议 -
SLA5851SBROOKS布鲁克斯SLA5850S质量流量计
美国BROOKS布鲁克斯公司热式质量流量计是为了满足有关工艺过程中对测量精度、重复性和控制方面的要求而设计的产品。它与传统的体积流量仪器截然不同，BROOKS质量流量计通过被测气体的比热来测量流量，不受温度、压力变化的影响。因此该产品在各种不同的工作环境下均有较高的精度。被测流量可设计成质量或体积单位。此外，所有BROOKS INSTRUMENT质量流量计产品都能同现有的工业仪表兼容，安装简便。 参考价面议 -
SLA5850SBROOKS布鲁克斯SLA5850S质量流量计
5861E质量流量计
5863E质量流量计
5853E质量流量控制器
5851E质量流量控制器
5850E质量流量控制器
SLA5850S质量流量控制器数字型
SLA5851S质量流量控制器数字型
SLA5853S质量流量控制器数字型
GF100特气质量流量控制器 参考价面议 -
4800SBROOKS 数字型4800S质量流量控制器 质量流量计
有很宽的工作压力范围，产品可以从真空直到10Mpa;本产品可以使用多种气体介质（包括一些腐蚀性气体等等）；有很宽的流量范围，产品*小流量范围可达0~10sccm，流量范围可达0~30slpm。流量控制范围是满量程的2~（量程比为50:1）。
——耐高压（工作压力可达100bar）
——响应时间快≤1sec
——模拟输入输出接口（0-5Vdc或4-20mA可选） 参考价面议 -
4800BROOKS 4800质量流量控制器 质量流量计
1 流量规格（N2） 10sccm～30slpm
2 准确度 ±1％F.S（Full Scale）
3 重复精度 ±0.25％F.S（Full Scale）
4 响应时间 ≤2sec（特别要求时：≤1sec）
5 耐压 ≤90bar
6 工作环境温度 0℃～50℃
7 输入输出信号 0～5V 0～5V or 4～20mA
8 供电 +15Vdc or +24Vdc 350mA 参考价面议 -
5861E美国BROOKS 布鲁克斯5861E质量流量计
5861E质量流量计
5863E质量流量计
5853E质量流量控制器
5851E质量流量控制器
5850E质量流量控制器
5851EM质量流量控制器
5850EM质量流量控制器5861E质量流量计
5863E质量流量计
5853E质量流量控制器
5851E质量流量控制器
5850E质量流量控制器
SLA5850S质量流量控制器数字型
SLA5851S质量流量控制器数字型
SLA5853S质量流量控 参考价面议