Delta-X  多功能X射线衍射仪/反射仪

能满足科学研究所和技术开发中心不同材料体系的测试需求。

 

产品简介

Jordan Valley公司设计的这款Delta-X多功能X射线衍射设备，可灵活应用于材料科学研究、工艺开发、与生产质量控制等环境。Delta-X衍射仪可以在常规衍射模式、高分辨率衍射模式、X射线反射模式之间灵活切换，衍射仪的光源台和探测台的光学元件可以全自动化调控，并采用了水平式样品台。

光学配置的切换在菜单式程序控制下由计算机完成，无需手动操作。自动化切换和准直不需要专门人员和操作设备，并确保每次切换都能达到合适的光学准直状态 。

常规的样品测量可以通过Delta-X衍射仪实现部分、乃至的自动化运行。自动化测量程序可以依客户需求进行专门定制。也可采用的手动模式来操作衍射仪，以便发展新的测量方法，研究新材料体系。

数据分析或拟合可以作为测量程序的一部分，能够实现自动化，也可根据需求来单独进行数据分析。 如以半导体生产线为例，根据生产线的需求，可以将RADS和REFS拟合软件以自动化模式运行，能够允许设备在没有用户干扰的情况下自动完成常规性的数据分析，并直接完成数据拟合和结果输出。RADS和REFS也可以单独安装，以便进行更详细的数据分析。

 

产品特点

·  自动化进行样品准直、测试、和数据分析

·  客户可以自行设定测量的自动化程度

·  300 mm的欧拉环支架 (Eulerian Cradle) 设计，高精度的样品定位和扫描

·  300 mm的晶片水平式放置，且可以完整映射

·  100° 的Chi 轴倾转范围、无限制范围的 Ph i 轴旋转空间， 可实现极图和残余应力测试

·  智能化的光学配置切换和准直。依测量需要，自动选择光学配置并实施光学准直

·  强大的工业级设备控制软件和数据分析软件

·  高分辨率测角仪，以保证精密且准确的测量

·  高强度的光源台设计和光学元件组合，实现快速测量

·  多方面广泛的测试技术和测量参数

·  由拥有超过30年的高分辨率X射线衍射经验的专家设计、制造，具有客户经验。

 

产品优势

1、 自动化控制的光学系统

Delta - X衍射仪的入射束包括多种标准的光学配置模式，使光学配置具有充分的灵活性，且易于操作。可以依据测量样品的材料类型，选择参考晶体。

2、样品台

Delta - X衍射仪的欧拉（Eulerian）环支架设计允许放置单个或多个晶片或样品，并提供多个转动轴的大范围、高再现性的精确移动控制。

      ·  可放置直径 300mm晶片或多个小尺寸晶片、样品

      ·  “边缘至边缘“全晶片测量（无边缘测量失真现象）

      ·  可选配特殊环境样品台，如高温、真空等。

      

3、探测台

      ·  闪烁式高性能点探测器，显著提高响应特性

      ·  的线探测器（选配件）

4、自动化机械手臂(Robot ) 选配件

      可选配全自动化机械手臂，实现直径≤300mm晶片的全自动化装卸和测量。

5、系统控制和数据采集

Delta - X衍射仪可以在不同模式下工作，包括菜单式全自动化测量、各个轴的手动准直和扫描等。

      ·  利用灵活、简便的向导创建测量菜单

      ·  自动产生分析报告，提供实时信息和警示

6、专业用户功能

专业用户可以全面使用Delta - X衍射仪的更多专业功能。控制软件允许用户使用从自动操作到手动准直和测量等的所有操作模式。

      ·  手动/自动化准直程序设置

      ·  可实现任何方向的专业扫描模式

      ·  功能强大的程序脚本

 

应用示例

·  高分辨率X射线衍射和弛豫度(Relaxation)

    材料：单晶衬底材料（如Si，GaAs，InP，GaN)和外延层材料，包括多层外延膜结构

    参数：外延层厚度、组分、弛豫度、晶格应变、晶片均匀性、晶格失配、掺杂浓度、衬底斜切角、外延倾角。

·  三轴X射线衍射和倒易空间Map

    材料：单晶衬底材料（如Si，GaAs，InP，GaN)和外延层材料，包括多层外延膜结构

    参数：外延层厚度、组分、弛豫度、晶格应变、晶片均匀性、晶格失配、掺杂浓度、衬底斜切角、外延倾角。

·  高分辨X射线衍射(HRXRD) 数据示例 

    -  GaN基多量子阱结构

    -  硅衬底上生长III - V族材料

·  X射线反射(XRR )

    材料类型：薄膜

    参数：薄膜厚度、密度、粗糙度

    扫描方式：Omega - 2Theta扫描，Omega扫描，2Theta扫描

 

·  X射线衍射(XRD) 

    材料：测量多晶材料、纳米材料、多晶薄膜等。对于超薄层材料、纳米级厚度的薄膜材料，可以使用掠入射衍射。

    参数：相结构、织构、晶粒尺寸、颗粒尺寸、晶胞分析、结晶度分析、残余应力测定。

 

·  多晶薄膜的X射线衍射(XRD)

    材料：测量多晶材料、纳米材料、多晶薄膜等。对于超薄层材料、纳米级厚度的薄膜材料，可以使用掠入射衍射。

    参数：相结构、晶格常数、晶粒尺寸

 

·  多晶薄膜的掠入射X射线衍射(GI - XRD)

    材料：测量多晶材料、纳米材料、多晶薄膜等。对于超薄层材料、纳米级厚度的薄膜材料，可以使用掠入射衍射。

    参数：相结构、织构、结晶度

    扫描模式： 2Theta扫描(GI - XRD)

 

·  多晶薄膜的极图：织构测定

    材料：测量多晶材料、纳米材料、多晶薄膜等。

    参数：织构

    扫描方式： Chi轴和Phi轴的联合扫描

 

·  薄膜的残余应力测定

    材料：测量多晶材料、纳米材料、多晶薄膜等。

    参数：残余应力

    扫描方式： 2Theta轴和Chi轴联合扫描

 

·  X射线衍射应用示例

    -  超薄High - K材料

    -  薄膜的残余应力测定

 

分析软件

Jordan Valley分析软件包已经拥有超过30年的使用经验，并广泛应用于薄膜材料结构特征的X射线表征。以原英国Bede Scientific公司的分析软件包为基础，Jordan Valley分析软件在研究领域和工业生产领域都具有广泛的适用性和优异性，并囊括了高分辨率X射线衍射（HRXRD ) 和X射线反射(XRR ) 自动化拟合软件、通用分析软件、映射图绘制和分析软件等。

-  JV RADS：在工业生产领域是饱受好评与信任的软件，广泛用于单晶衬底上生长各种外延薄膜的HRXRD 数据分析。

-  MDI JADE：拥有强大的XRD数据分析功能，包括衍射图谱的阅读、处理、分析，能够准确进行相鉴定分析。

-  JV REFS：用于分析X射线反射数据的软件，软件操作简便、功能强大，广泛应用在研发和生产领域。

-  JV Contour：可绘制和展示2D或3D映射图

-  JV PeakSplit：提供了直接分析HRXRD和XRD数据的多种功能，对HRXRD或XRD测量数据做图形化展示，并可拟合峰形特征。

更多数据实例或详细参数，欢迎与我司联系索取。