三维光学轮廓仪/白光干涉仪

ContourX-1000

       布鲁克Bruker ContourX-1000 落地式三维光学轮廓仪/白光干涉仪 （WLI） 可以轻松快速地完成高质量的三维表面纹理和粗糙度测量。设备的计量系统融合了超过三十年的创新研发和布鲁克的专有软件和技术，具备更的性能、更高的效率和可重复性以及更便捷的测量流程。

       全新的一键式寻找表面(Advanced Find Surface ™)功能结合了自动聚焦和自动照明功能，无需每次测量前手动查找样品表面，大幅提升了用户体验，缩短了测量时间。结合自适应测量模式 USI和简洁的引导式 VisionXpress™操作界面，ContourX-1000 几乎能够在任何表面，任何操作人员，甚至多用户高负荷的生产设备下提供高质量的精确测量。

产品特点：

·        可倾斜/俯仰光学头、双光源和的自动化功能，提供快速、灵活的生产车间内测量。

·        自校准激光和集成的防震台，确保更高的测量准确性和可靠性。

·        提供的测量和分析软件带有简洁且有引导性的程序和模式，更大程度的方便用户使用。

创新的硬件设计

ContourX-1000 三维轮廓仪集成有 Bruker 的倾斜/俯仰光学头，的双光源、自动化的物镜转盘和样品台，以及可选配的晶圆卡盘。这些创新可为几乎所有的在研发和生产中的应用提供快速且有效的解决方案，包括有难度的表面和深沟槽结构。

ContourX-1000配备了专属的内部参考激光和防震台以获取更好的稳定性和与其他工具的匹配能力。即使在嘈杂的环境中，该系统也能确保设备能完成精准的测量工作。

强大的自动测量分析功能

ContourX-1000具有易于操作的功能和的自动化生产界面，允许系统在更少的人工干预下快速收集高质量的检测结果报告，有效减少由于操作人员不同或操作设置不同而导致的数据采集和分析的结果偏差。

自动功能包括：

·         自动测量和分析方案

·         自动对焦和自动照明功能，一键式搜索表面

·         自适应USI测量模式，自动确定合适的测量参数

·         提供引导的VisionXpress界面

·         自动模式对齐

·         自动强度调整，自动保存，自动拼接等

Vision64  - 仪器控制和分析软件

ContourX-1000 由 Vision64® 软件提供支持，该软件是业界内的一款功能强大、用户友好的图形用户界面。这款功能齐全的软件包括：

查找图面：查找表面功能使任何用户都能获得高质量的结果，无论操作员的经验水平如何，即使在多用户环境中也是如此。它不仅可以实现自动对焦，还可以调整关键照明参数，如 LED 环形灯的强度。这允许设备能够在各种材料表面上进行完整的计量，改善用户体验，易于操作，并缩短获得结果的时间。

VisionXpress：VisionXpress™ 的界面使用简单，适用于多用户环境的标准测试库，在功能齐全的Vision64 界面（用于设置和自动分析）以及用于自动化（更少的人工干预）的生产界面之间，您可以自由的选择更适合需求的解决方案。

通用扫描干涉测量：USI模式的自适应表面智能可自动调整算法参数，在同一视场内的不同表面纹理上获得更优的结果，即使在对比度、强度和高度不同的表面上也是如此。这种自动检测表面类型并提供精确计量的能力使其成为简单且可靠的测量方法之一，适用于几乎任何表面，从透明到不透明，垂直范围高达 120 μm。

应用案例

       ContourX-1000 将的硬件和软件集成结合在一起，能够对各种应用和行业（包括关键尺寸计量等）的各种表面进行高精度、量具能力的定量 3D 表面表征。

1、改进如元件等的制造工艺

通过测量表面粗糙度参数，准确评估和衡量一些零部件的复杂表面纹理，帮助改进表面光洁度工艺。

2、新型材料的研究和大规模制造

为新型材料的研究和大规模制造提供快速、准确的平均表面粗糙度评估

3、半导体表面表征

用于半导体材料和器件纳米级表面表征的高性能测量解决方案

4、更多应用

·    高纵横比MEMS器件结构

·    工业高分子薄膜

·    高密度凸起互连

·    拼接测量得到的双焦隐形眼镜形貌