通常情况下，薄膜厚度指的是基片表面和薄膜表面的距离，而实际上，薄膜的表面是不平整，不连续的，且薄膜内部存在着针孔、微裂纹、纤维丝、杂质、晶格缺陷和表面吸附分子等。因此薄膜的厚度大至可以分成三类：形状厚度，质量厚度，物性厚度。形状厚度指的是基片表面和薄膜表面的距离；质量厚度指的是薄膜的质量除以薄膜的面积得的厚度，也可以是单位面积所具有的质量（g/cm2）；物性厚度指的是根据薄膜材料的物理性质的测量，通过一定的对应关系计算而得到的厚度。

探针式轮廓仪系统Dektak XTL产品特性

一、Bruker公司的双摄像头控制系统

1.通过点击实时视频更快锁定到关注点
2.通过选择实时视频中的两个点快速定位样品（自动旋转使连线水平）
3.通过在实时视频中点击扫描起始和结束位置简化测量设置（教学）
二、自动化设置和操作
1.借助300毫米的自动化编码XY工作台以及360度旋转能力，编程控制无限制测量位置。
2.利用带图形识别功能的Vision64位产品软件减少使用中的定位偏差
3.将自定义用户提示以及其它元数据编入您的方案中，并存储到数据库内
三、方便的分析和数据采集
1.快速分析仪支持大部分常用分析方法，可轻松实现分析程序自动化
2.通过台阶检测功能将分析集中于复杂样品上感兴趣的特征
3.通过赋予每个测量点名称并自动记录到数据库来简化数据分析
4.Dektak在大样品制造业中的传奇性能

业界自动分析软件

       新增软件功能使Dektak XTL成为市面上易使用的探针式轮廓仪。系统使用的Vision64软件,与Bruker公司的光学轮廓仪兼容。Vision64软件可以进行样品任何位置测量、3D绘图以及借助数百个内置分析工具实现的高度定制表征方法。也可以使用Vision Microform软件来测量曲率半径等形状。

探针式检测技术
       图形识别功能可以尽量减少操作员误差并测量位置精度。在同一软件包内，以直观流程进行数据采集和2D、3D分析。每个系统都带有Vision软件许可证，可在装有Windows7操作系统的个人电脑上安装，用户可在电脑桌面上创建数据分析和报告。

Dektak XTL拥有超过40年的探针经验和软件定制生产经验，符合现在和未来的严格的行业发展蓝图。

探针式轮廓仪系统Dektak XTL应用

一、晶片应用：                                                          二、大型基板应用：          

沉积薄膜（金属、有机物）的台阶高度                           印刷电路板（凸起、台阶高度）
抗蚀剂（软膜材料）的台阶高度                                     窗口涂层
蚀刻速率测定                                                                 晶片掩模
化学机械抛光（腐蚀，凹陷，弯曲）                              晶片卡盘涂料
                                                                                      抛光板
三、玻璃基板及显示器应用：                                        四、柔性电子器件薄膜：
AMOLED                                                                       有机光电探测器
液晶屏研发的台阶步级高度测量                                     印于薄膜和玻璃上的有机薄膜
触控面板薄膜厚度测量                                                   触摸屏铜迹线
太阳能涂层薄膜测量