产品简介
本仪器是把UV-Vis光照在测量对象上,利用从测量对象中反射出来的光线测量膜的厚度的产品。这种产品主要用于研究开发或生产导电体薄膜现场,特别在半导体及有关Display工作中作为In-Line monitoring 仪器使用。
详细介绍
1) 因为是利用光的方式,所以是非接触式,非破坏式,不会影响实验样品。
2) 可获得薄膜的厚度和 n,k 数据。
3) 测量迅速正确,且不必为测量而破坏或加工实验样品。
4) 可测量 3层以内的多层膜。
5) 根据用途可自由选择手动型或自动型。
6) 产品款式多样,而且也可以根据顾客的要求设计产品。
7)可测量 Wafer/LCD 上的膜厚度 (Stage size 3“ )
8)Table Top型, 适用于大学,研究室等