为了满足测量微小区域及高精度的需求，安装了“SFT”**秀的75W高功率X射线管。
快速的对应日益微小化的电子产品，更扩大了X射线荧光镀层厚度测量仪的应用。

可测量元素：原子序数22（Ti）～83（Bi）

X射线源：小型空气冷却型高功率X射线管球（Mo靶）
                  管电压： 50kV 管电流： 1.5mA Be 窗

滤波器：一次滤波器：Mo 二次滤波器：Co （自动切换）

照射方式：上方垂直照射方式

检测器：比例计数管

准直器：方型：0.025×0.2mm 0.2×0.025mm 
                 圆形：Φ0.05mm Φ0.1mm Φ0.2mm

安全性能：样品室门自锁功能、样品防冲撞功能、自动诊断功能

样品图像对焦方式：激光自动对焦

样品观察：彩色CCD摄像头 倍率光学器 卤素灯照明

样品平台大小及承重： SFT9300:240mm（W） ×170mm（D） 10kg 
                                              SFT9350:420mm（W） ×330mm（D） 5kg 
                                              SFT9355:700mm（W） ×600mm（D） 3kg

重量：SFT9300/SFT9350:125kg （不含电脑） 
             SFT9355:130kg（不含电脑）

修正功能：底材修正、已知样品修正、人工输入修正

测量报告书制作：配备MS-EXCEL® MS-WORD®（使用宏支持自动制作测量报告书） 
                                  测量能谱与样品图像保存功能

1. 75W高功率X射线管
　能够提高X射线的生产效率，实现高精度的测量，有效缩短测量时间，只需过去的1/4
2. 超微小型准直器
　除了搭载了标准配置的50μm准直器，还配备了测量微小部位用的15μm准直器
　对应所选择准直器的实际X射线光束照射的尺寸，可以显示在样品画面上
3. 倍率式光学系
     可以准确地对微小部分进行对焦，还可以对应各测量点间有高低的样品
4. 实现了高精度自动X-Y-Z样品台与图像处理软件的高速自动测量
5. 拥有防冲功能
6. 搭载高精度样品平台，更可测量大型线路板（SFT9355）
7. 自动对焦功能
    配备激光自动对焦功能，能够准确对焦，提高测量效率。
8. 即时生成测量报告的便捷性
    运用搭载的Microsoft Word® Excel® 可以简单轻松得到制作报告。
9. 搭载了高功率X射线管
10. 拥有自动测量软件以及中心搜索软件
11. 搭载了薄膜FP法软件、图像处理软件以及块体FP法软件 1.可实现高精度几高效率的微小样品检测zui小样品尺寸直径3.5um
2.容易决定微小测量部位
3.影像对焦系统
4.凹凸样品的凹下部位的测量
5.再现性佳