当前，压力传感器应用非常广泛，但超低温压力传感器一般只在军事和科研上使用。尤其是在军事上，对压力传感器的要求非常苛刻。目前军用低温压力传感器普遍可以在-200℃环境下稳定工作，性能上需拓展。

 

　　为此，*公司九院704所自2009年起，开始研制超低温压力传感器和超低温脉动压力传感器。

 

　　据资料，该低温型脉动压力传感器属于电阻应变式压力传感器。传感器采用离子束溅射薄膜技术，在金属膜片上直接生成电介质隔离膜和功能材料电阻膜（薄膜应变电阻），在电阻膜上制作应变电阻，组成惠斯通电桥。当被测介质的压力发生变化时，应变电阻阻值也随之变化，从而使传感器输出电压值发生变化。传感器金属膜片上还制备了一个测温电阻，通过测温电阻，当传感器的工作环境温度发生变化时，测温电阻阻值也随之变化，并提供给变换器，通过变换器获取工作环境温度。低温型脉动压力传感器系统具有使用测量低温区宽的特点，传感器使用温度范围为-253℃~ 60℃(液氢温度)；测量范围：(0～60)）MPa。

 

　　研制团队攻克了多项关键设计技术及工艺技术，用4年时间在国内解决了液氢温度压力传感器的校准难题。通过多次试车，于日前参加飞行任务并获圆满成功。该型压力传感器用于测量新一代运载火箭发动机入口推进剂输送管脉动压力。该产品的首飞成功表明该所航天压力传感器的低温工作温度已经拓宽到液氢温度环境，提升了压力传感器专业水平。未来将为我国新一代运载火箭的研制作出重要贡献。