热式气体质量流量计 智能质量流量计 小体积流量控制器

用途与特点
质量流量控制器  (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、***和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
主要技术指标
量程范围  （20,30,50,100,200,300,500）SCCM    （0~1,2,3,5,10）SLM
准确度   +1.5%F.S
线性  +0.5~1.5%F.S
重复精度 +0.2%F.S
响应时间  10sec      气特性：（1~4）sec
工作压差 0.1~0.5MPa
耐压 3Mpa  6Mpa  10Mpa
工作环境温度 0~70℃
数字量 RS485  MODBUS 协议
模拟量 DC 0~5V ，4~20mA 可选
电特性：SLM
供电 DC +15V/24V 可选，流量计＜50mA，控制器＜200mA
电气连接 DB15
漏率 1×10  SCCSHe
底座材质 316L 不锈钢
密封材质   氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶
气路接头  Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
注意:  质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N₂)标定.
质量流量的单位规定为:SCCM(标准毫升/分);SLM(标准升/分)
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