AX10FD气体流量计 微小气体质量流量计 医药专用流量计
工作原理
AX10FD 系列气体质量流量控制器的精度、坚固性及可靠性源于我公司*的传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器，能自动校正温度及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值，然后测量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器（RTD）。白金 RTD 丝缠绕在坚固的陶瓷芯轴上，牢固且可靠。整个传感器密封在 316 不锈钢包装壳内。
用途与特点
质量流量控制器  (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、***和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
主要技术指标
量程范围  （20,30,50,100,200,300,500）SCCM    （0~1,2,3,5,10）SLM
准确度   +1.5%F.S
线性  +0.5~1.5%F.S
重复精度 +0.2%F.S
响应时间  10sec      气特性：（1~4）sec
工作压差 0.1~0.5MPa
耐压 3Mpa  6Mpa  10Mpa
工作环境温度 0~70℃
数字量 RS485  MODBUS 协议
模拟量 DC 0~5V ，4~20mA 可选
电特性：SLM
供电 DC +15V/24V 可选，流量计＜50mA，控制器＜200mA
电气连接 DB15
漏率 1×10  SCCSHe
底座材质 316L 不锈钢
密封材质   氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶
气路接头  Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
注意:  质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N₂)标定.
质量流量的单位规定为:SCCM(标准毫升/分);SLM(标准升/分)
微小气体质量流量计 AX10FD气体流量计 微小流量计