日本电子场发射扫描电镜JSM-7200F
JSM-7200F的主要特点有:应用了浸没式肖特基电子枪技术的电子光学系统;
利用GB(Gentle Beam 模式)和各种检测 器在低加速电压下能进行高分辨观
察和选择信号的TTLS系统(Through-The-Lens System);电磁场叠加的混
合式物镜。
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面议JSM-7200F的主要特点有:应用了浸没式肖特基电子枪技术的电子光学系统;
利用GB(Gentle Beam 模式)和各种检测 器在低加速电压下能进行高分辨观
察和选择信号的TTLS系统(Through-The-Lens System);电磁场叠加的混
合式物镜。
浸没式肖特基场发射电子枪为日本电子的技术,通过对电子枪和低像差聚光镜进行优化,能有 效利用从电子枪中发射的电子,即使电子束流很大也能获得很细的束斑。因而可以实现高通量分析(EDS、WDS面分析、EBSD分析等)。
TTLS(through-the-lens系统)是利用GB(Gentle Beam 模式)在低加速电压下能进行高
分辨率观察和信号选择的系统。 利用GB(Gentle Beam 模式)通过给样品加以偏压,对入
射电子有减速、对样品中发射出的电子有加速作用,即使在低加速电压(入射电压)下,也
能获得信噪比良好的高分辨率图像。
此外,利用安装在TTLS的能 量过滤器过滤电压,可以调节二次电子的检测量。这样在极低加
速电压的条件下,用高位检测 器(UED)就可以只获取来自样品浅表面的大角度背散射电子。
因过滤电压用UED没有检测出的低能 量电子,可以用高位二次电子检测 器(USD,选配件)检
测出来,因此JSM-7200F能同时获取二次电子像和背散射电子像。
JSM-7200F的物镜采用了日本电子新开发的混合式透镜。
这种混合式透镜是组合了磁透镜和静电透镜的电磁场叠加型物镜,比传统的out-lens像差小,能获得更高的空间分辨率。 JSM-7200F仍然保持了out-lens的易用性,所以可以观察和分析磁性材料样品。