美国ALICAT 20S系列抗腐蚀型质量流量计，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量计均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的20S系列数字式质量流量计可精确、快速测量腐蚀性气体(如：NH3、H2S、SiH4等)的质量流量、体积流量、压力和温度，适用于多种流量测控场合。

技术参数 ：

介质要求：洁净、干燥的气体，腐蚀和非腐蚀性均可

介质种类：内置了130种气体，请参考“产品资料下载”气体兼容表

一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量程：从0-0.5SCCM 到 0-5000SLPM（详情请咨询）

量程比：100:1

zui大显示流量：128%FS

显示屏：同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-满量程

高精度：±(0.4%Rd + 0.2%FS)，选配

仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备

重复性：± 0.2% FS

零点漂移&满量程漂移：0.02% F.S / ºC / Atm

预热时间：<1s

响应时间：10ms

标定工况：25ºC & 100kPa 绝压、20ºC & 100kPa 绝压、0ºC & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)

工作温度：-10 ～ +50 ºC

工作湿度：0-,无冷凝

标准zui大工作压力：1MPa 表压

标准极限耐压：1.2MPa 表压，进出口zui大瞬时压差可为500kPa

中压耐压：2MPa

数字输入/输出信号：RS232、RS485、Modbus、Profibus*

模拟输入/输出信号：0-5Vdc、1-5Vdc、 0-10Vdc、4-20mA

供电电压：7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)

供电电流：40mA

电气接口：8针Mini-DIN、DB9、DB15、6针工业接头

材质：316L不锈钢、303不锈钢, 430FRSS, FFKM (Kalrez)

可根据特殊气体选用Viton, EPDM, Buna, Neoprene

防护等级：IP40

* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及

供电电流需咨询我们