气体质量流量传感器FS4000系列

FS4003气体质量流量传感器FS4000系列

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2018-05-15 16:38:07
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矽翔微机电系统（上海）有限公司成都分公司

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产品简介

美国矽翔微机电系统有限公司采用的微机电系统(MEMS)流量传感技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量检测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，不需要旁路设置，压损小。该传感器既可用于净化行业中空气或氮气的流量监控，也可用于环境检测行业(如大气采样器)和分析仪器(如色谱分析仪)等。管道内径为3mm测量范围zui大5SLPM,适用于粒子计数器和各类分析仪器。

详细介绍

 专为管径3mm的气管中的低压气体流量而设计

支持多种连接方式，易于安装与使用

传感器芯片采用热式质量流量计量，无需压力温度补偿，保证了传感器的高精度计量

在单个芯片上实现了多个传感器集成，使其量程比高达100:1甚至更高

输出方式灵活，即可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可以通过模拟接口或者输出线性的模拟电压

零点稳定高

全量程高稳定性，高精确度和优良的重复性

低功耗，低压损

响应速度快

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