产品型号：SuperView WX 100

• 产品名称：白光干涉测头

• 光源：白光LED

• 干涉物镜：10×，（ 20×，50×）

• 标准视场：0.98×0.98mm

• 外形尺寸：230*200*380mm

• 水平调整：±2°电动

• Z向行程：30mm

• Z向扫描范围：10mm（视具体镜头而定）

• Z向分辨率：0.1nm

• 主要特点：便携可搭载 一键批量分析

1、测量功能：能够实现样件表面的高精密Z向扫描，获取3D图像；

2、分析功能：能够获取关于表面质量的粗糙度、微纳级别的轮廓尺寸等2D、3D数据；

3、编程功能：支持预配置数据处理和分析工具步骤，一键完成测量到分析全过程；

4、批量分析：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数数据实现一键批量分析；

　对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

应用范例：

半导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC

3C电子.蓝宝石玻璃粗糙度、金属壳模具瑕疵、玻璃屏高度差

1、便携可搭载 *悬臂式结构，可方便地搭载在各类龙门架构水平位移平台上，通过软件接口的连接，即可构成一台可自动测量的超高级精度的光学3D表面轮廓仪；

2、复合型扫描算法 结合了PSI相移法高精度和VSI垂直法大范围的双重优点的扩展型相移扫描重建算法，能够适配 从超光滑到粗糙、光滑弧面等所有类型样品，一键扫描，无须切换算法；

3、防撞保护功能 Z向防撞传感器，当镜头碰到样件表面，进入紧急停止状态，不再下移；