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产品型号:SuperView W1-Pro
产品名称:光学3D表面轮廓仪
影像系统:1024×1024
干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)
XY位移平台:尺寸300×300mm,行程200×200mm,电动
Z轴行程:100mm,电动
Z向扫描范围:10mm
Z向分辨率:0.1nm
可测样品反射率:0.05%-99%
水平调整:±5°手动
粗糙度RMS重复性:0.005nm
台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ
主要特点:非接触式无损检测,一键分析、快速高效