SuperView W3白光干涉仪

SuperView W3白光干涉仪

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-01-24 10:44:52
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青岛润禄机电设备有限公司

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产品简介

SuperView W3白光干涉仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。  SuperView W3白光干涉仪可广泛应用于半导体制造......

详细介绍

产品型号:SuperView W3

产品名称:白光干涉仪

原理:非接触、三维白光扫描干涉仪

扫描装置:长范围,Z轴纳米光栅控制

物镜:Nikon,10×无限远共轭干涉物镜

物镜座:5孔电动物镜塔台(标准)

测量阵列:1024*1024,工业级相机

Z轴:100mm行程,纳米位移闭环反馈

安全性:系统集成紧急制动功能

样品台:0.1nm电动,俯仰倾斜±6°,电动调节,XY行程300*300
    尺寸450*450mm,亚微米闭环反馈

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