SuperView W3白光干涉仪
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青岛润禄机电设备有限公司
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产品型号:SuperView W3
产品名称:白光干涉仪
原理:非接触、三维白光扫描干涉仪
扫描装置:长范围,Z轴纳米光栅控制
物镜:Nikon,10×无限远共轭干涉物镜
物镜座:5孔电动物镜塔台(标准)
测量阵列:1024*1024,工业级相机
Z轴:100mm行程,纳米位移闭环反馈
安全性:系统集成紧急制动功能
样品台:0.1nm电动,俯仰倾斜±6°,电动调节,XY行程300*300 尺寸450*450mm,亚微米闭环反馈
一体化操作的测量与分析软件,操作无须进行切换界面,预先设置好配置参数再进行测量,软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,即可快速实现批量测量功能。
测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。
测量中提供拼接测量功能。
分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能,其中调整位置包括图像校平、镜像等功能;纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能;滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能;提取包括提取区域和提取剖面等功能。
分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能,其中粗糙度分析包括依据国际标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能;几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能;结构分析包括孔洞体积和波谷深度等;频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能;功能分析包括SK参数和体积参数等功能。
分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能,设置分析模板,结合测量中提供的自动测量和批量测量功能,可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
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