产品型号：SJ6000

• 产品名称：SJ6000激光干涉仪

• 稳频方式：双频激光热稳频

• 稳频精度：0.05ppm

• 线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃

• 线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）

• 角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

• 测量分辨力：1nm

• 动态采集频率：50KHz

• 预热时间：≤6分钟

• 工作温度范围：（0-40）℃

• 环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：0-95%

• 主要特点：应用范围广、测量精度高、操作方便

SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

　　其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。

激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。

　　若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。

◆精度高

　　SJ6000激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。

● 可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

● 可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

● 可实现龙门机床双轴同步测量；

● 可实现对机床回转轴的测量与校准；

● 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

● 具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

● 支持手动或自动进行环境补偿。

● 友好的人机界面；

● 丰富的应用功能模块；

● 向导式的操作流程；

● 简洁化的记录管理；

● 支持中文、英文和俄文界面；

● 支持企业专属模板定制。

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