热式气体质量流量计是利用热扩散原理测量气体流量的仪表。传感器由两个基准级铂热电阻RT组成。一个是速度传感器RH，一个是测量气体温度变化的温度传感器RMG。当这两个基准级铂热电阻RT置于被测气体中时，其中传感器RH被加热，即利用流体流过发热物体时,发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。当流体流动时,两者之间的温度差与流量的大小成线性关系,再通过微电子控制技术,将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。

  另一个传感器RMG用于感应被测气体温度，随着气体流速的增加，气流带走更多热量，传感器RH的温度下降。

根据热效应金氏定律,加热功率P、温度差△T（TRH-TRMG）与质量流量Q_m之间的关系可用下式表示：   

式中: K₁、K₂、K₃--- 设计和校准参数；

△T--- 温差(=T₂-T₁)，K；

P--- 输入加热功率,W;

Q_m--- 质量流量，kg/S。

这称为金氏定律， K₁、K₂、K₃ 取决于传感器的几何尺寸和气体特性,如热导率、粘度和比热容。