B30化学在线浓度计应用于半导体行业
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上海京度电子科技有限公司

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产品简介

B30化学在线浓度计应用于半导体行业是根据声速阻抗与衰减测量原理设计的一种新型连续在线监测仪,由于仪表的传感器检测元件与被测介质直接接触,且没有极化效应,故该仪表可广泛应用于半导体、TFT-LCD、化工、环保等工业液流中,连续在线测量TMAH、TMACL、H2O2、NAOH等强腐蚀性介质浓度,拥有一般浓度仪表*的优点。

详细介绍

B30化学在线浓度计应用于半导体行业,罗森尼克斯Rhosonics 的超声波技术通过同时实时监测多种化学品浓度,可以更好地监督过程。技术的选择取决于需要在化学溶液中测量的浓度数量。Rhosonics 可实现高达 ± 0.0001 wt% 的测量精度。需要注意的是,罗森尼克斯Rhosonics 技术可用于使用超声波技术测量以下主要化学品或化学品浓度:

清洗和抛光:CMP浆料、H2O2、HF、NH3、BHF、KOF、HNO3、SC1、SC2、APM、食人鱼溶液、HCl、C6H8O7:H20、王水、碘溶液、HCl、HNO3、C3H8O(IPA)、C3H6O(丙酮)、(CH3)2CHOH、APM


光刻胶和剥离:TMAH、TMAH + PR + CO3、H2SO4:H2O2、SPM、H2Ta2O6、二甲基亚砜 (DMSO)、CeO2

蚀刻:TMAH、TMAH + PR + CO3、TBHA、H2SO4、HF、HNO3、KOH、C2HCl3、HNA

使用罗森尼克斯Rhosonics超声波技术,可以测量生产过程中几乎任何类型的化学品或固体溶液。除了半导体应用外,太阳能电池板和平板显示器中的类似工艺也可以从Rhosonics技术中受益。

在每个制造过程中,技术都可以发挥作用。B30化学在线浓度计应用于半导体行业,引入新技术可以提高生产率和工艺效率。其中一项技术是浓度监测设备,用于实时观察工艺化学品。在半导体行业中,以 精度测量化学品浓度非常重要,因为化学品的使用量很大。可以分析过程信息以改进过程。当与过程控制结合使用时,如果发生过程变化,系统可以直接采取行动。该分析仪有助于保持正确的化学浓度(在所需值内),以保持过程在 条件下运行。这有助于防止计划外停机,提高最终产品质量。因此,公司可以通过降低缺陷率来提高生产线效率。

B30化学在线浓度计应用于半导体行业


解决工艺挑战的解决方案

为了避免基板的低效蚀刻和清洁,化学浓度控制是不可少的。工厂将避免使用比预期更多的化学品。更少的化学品使用量提供了更低的可变生产成本,并提供了更环保的设施。浓度比可以通过测量仪器实时检查,以确保溶液是所需的混合物。

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