表面电阻率的测量 
  表面电阻率定义为材料表面的电阻，并表明为欧姆（通常称为方块电阻）。其测量方法是将两个电极放在检验样品的表面，在电极之间施加一个电位差，并测量发作的电流。

转换极性法  
  转换极性法施加一个正极性的偏置电压，然后在规矩的延迟时间后测量电流。接着将极性反向，经过一样的延迟时间再测量电流。这种极性反转进程可以重复尽情的次数。根据迩来的电流测量效果，按照加权均匀可以计算出电阻值。

偏置修改技术 
  在测量电阻率非常高的材料时，布景电流可以会致使测量差错。布景电流可以是由材猜中储存的电荷（介电吸收）、静电或抵触电的电荷或压电效应致使的。布景电流可以等于或大于所加电压源鼓舞出的电流。如果布景电流和测量的电流同极性，那么测量出的电流值将会比真值大得多。如果布景电流是反极性的，那么这种不希望有的电流可以会致使反极性的电流读数。这就是说，电流的极性和所加电压的极性相反，所以计算出的电阻将为负值。为了处置这个疑问，选用转换极性和转换电压的方法实际上可以消除布景电流对样品的影响。