可安装探针

1172系列，CP1072系列

测试步数

999999步

测量参数和测量范围

电阻测量

40.00 μΩ ~ 40.00 MΩ

绝缘电阻测量

1.000 kΩ ~ 500.0 MΩ

电容测量

100.0 fF ~ 10.00 μF

漏电流测量

1.000 μA ~ 10.00 mA

高压电阻测量

1.000 kΩ ~ 500.0 MΩ

电容绝缘电阻

1.000 kΩ ~ 10.00 MΩ

开路测量

4.000 Ω ~ 4.000 MΩ

短路测量

400.0 mΩ ~ 40.00 kΩ

判定范围

−99.9% ~ ＋999.9%, 或值

综合定位精度

□20μm (注: 根据检查条件有所限制)

测点最小间距

50μm (使用探针CP1072-01时, L-R手臂间距)

测量时间

Max. 100步/秒 (0.1mmX-Y移动，2手臂同时探测 电容测试)

可测试基板尺寸

50(W) × 50(H) ~ 610(W) × 510(H)mm, 厚度 0.1mm~ 3.2mm

可测区域

610mm(W)× 510mm(H)

基板固定

水平放置，真空吸附

电源

AC200 V, 220 V, 230 V, 240 V单相 (订购时指定) 50/60 Hz, 功耗：3 kVA

体积及重量

1303(W) × 1194(H) × 1167(D)mm±10mm (突出部分除外) 900 kg±50kg