MF4000 微小量程-质量式气体流量计 / 质量流量计 (Mass Flow Meter / Gas Flow Meter) 转子流量计-登方（上海）电子有限公司手机版

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MF4000 质量式气体流量计/ 质量流量计 / 热质式流量计 / 热质式质量流量计

MF4000 MEMS质量式气体流量计 / 质量流量计 / 热质式流量计 / 热质式质量流量计
MF4000 专为各类小流量气体测量和过程控制设计，适用于各类清洁、干燥气体。量程比达100:1，
配备多种输出信号及通讯接口、LED显示瞬时&累积流量，可替代容积式或压差式的传统流量计，接续管径3mm、8mm

【测量类型】
氧气、氮气、氦气、氢气、氩气、压缩气体、甲烷、液化石油气、天然气...等

【应用环境】
工业制造业的用气测量及程控、
医疗设备 (如：医疗麻醉与呼吸设备、医院供氧/制氧设备、分床计费系统)

环保领域、食品加工、科学气体分析仪器、楼宇自控、保健设备...等

【何谓MEMS(Micro-electromchanical System)？】
MEMS是将微电子技术与机械工程融合的一种工业技术；而MF系列气体流量计采用MEMS芯片及的封装技术，
相较于传统的热式质量流量计，MEMS质量流量计，体积更轻巧、压力损失小、低功耗、响应速度快、测量结果更精确可靠

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质量式气体流量计/质量流量计技术参数

型号	MF4003	MF4008
口径	3mm	8mm
流量(SLPM)	2,3,4,5	10,20,30,40,50
量程比	100:1
精确值	±(1.5+0.2FS)%
重复性	0.25%
零点飘移	±30mV
输出飘移	±0.12% / ℃
响应时间	10ms(可调)
电源	8~24VDC,50mA
输出信号	RS232、RS485、0.5~4.5VDC
工作压力	0.5MPa
机械接口	BSPT 1/4(R1/4)或4mm、6mm、8mm快速接头
工作温度	-10〜55℃
储存温度	-20〜65℃
工作湿度	<95%RH(无结冰、无结露)
应用环境	粒子计数器、各类分析仪器	麻醉设备、洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等

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