GC-9860-5CPDHID氦离子化气相色谱仪适用于高纯气体、超高纯气体及电子工业用气体中痕量杂质的检测。该产品以GC-9860气相色谱仪为载体，配备VALCO公司生产的氦离子化（PDHID）检测器；采用公司拥有专业技术的四阀五柱的中心切割与反吹技术，其中的所有进样和切换阀均为VALCO公司生产的带吹扫保护气路的六通或十通阀；上述部分与VALCO公司原装的氦气纯化器、无死体积取样阀等部件一起组成一套完整的高纯气体分析解决方案。
高纯气体的分析是一个复杂的过程，不仅需要高灵敏的检测器，还要考虑样品本身的特性及其背景，如吸附、取样及分析过程中是否有空气混入、系统的密闭性、系统的死体积等环节，公司总结了高纯气体分析过程中的技术难点，并给出了所有难点的解决措施，使GC-9860-PDHID氦离子化气相色谱仪成为国内的高纯气体分析系统，很好的完成了气体中微量杂质，特别是ppb级的杂质的分析。

产品的特点与技术要求:

1.气体行业专业色谱技术成套解决方案

2.采用VICI公司Valco带吹扫型十通与六通切换阀控制气路

3.应用气体分离专用色谱柱分离预切再分离技术

4.采用本公司技术的可分离与嵌入式单体控温柱炉

5.工艺流程采用多路精密零死体专用阀控制多维色谱分离柱流量

6.分析流程全部采用Valco公司316不锈钢管路与专用镀金接头

7.核心灵敏部件采用Valco公司PDHID脉冲氦离子检测器

8.成套专业化的数字与全中文反控气相色谱仪

中心切割与反吹系统

GC-9860-5CPDHID氦离子化气相色谱仪采用多阀多柱的中心切割与反吹系统，该系统由多个吹扫型十通阀及多根色谱柱联合组成，通过工作站设置的时间程序自动控制其进样、切换、切割与反吹等过程，完成包括高纯氮、高纯氢、高纯氧、

高纯氦、高纯二氧化碳、高纯氩、氪气、氙气、氖气等高纯气体以及硅烷等电子工业用气体中痕量杂质的检测：
VALCO吹扫型十通阀
GC-9860-PDHID氦离子化气相色谱仪所配备的均为VALCO生产的
经特殊加工的色谱柱技术

杜绝氧吸附

气体全分析流程：四阀五柱

HP-2氦气纯化器：

可纯化气体：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn 、NO、NH3、CF4等

残留浓度：≤10ppb

外置式单气路恒温柱箱

◆单气路,箱炉可独立控温与恒温;

◆加热块与柱炉体采用可分离与嵌入式技术;安装与拆卸实用方便;

◆炉体与外箱盒设计分体, 安装色谱柱, 分离与嵌入加热块,填装保温棉材等都人性化设计.

VALCO脉冲氦离子检测器

◆PDHID是利用氦中稳定的，低功率脉冲放电作电离源，使被测组分电离产生信号。

PDHID是非放射性检测器，对所有物质均有高灵敏度的正响应。

◆非放射性检测器，使用安全

◆检测灵敏度，气体中杂质的最小检测浓度达5ppb

色谱分析流程图

1.9分析过程

1. 如高纯N2通过程序设定，样品通过阀1定量管定量进入预柱1/8”*2mHayesepQ 1，预柱很好的把O2中CO2和H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO组分预分离，待H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO 流出预柱，自动切换阀1。CO2直接通过阀1放空.

2. 阀3一开始是1-4相同，当O2从分子筛柱流出后进入阀3后，进入后面的分析筛，阀3切换，H2、02直接进入后面的分子筛继续分离，通过阀4进入检测器检测。此时阀3处于放空状态，放掉大部分的氮气，当CH4即将流出前面分子筛，阀3再次切换， CH4与氮气的混合气体进入后面的分子筛继续分离，通过阀4进入检测器进行检测。当CH4*流出前面分子筛后，阀3再次切割为放空状态，继续放掉氮气。

3.  当CO即将流出分子筛，阀3再次切换，CO通过阀3进入后面的分子筛继续分离，进入检测器检测。当CO从前面分子筛流出后，阀3再次切换，处于放空状态。

4.  阀2是用来分析CO2的，当样品从定量环中带入预柱中，一开始阀2是处于放空状态，待H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO流出排空后，阀2切换，把CO2反吹进检测器进行分析。

分析谱图

标准样品谱图

高纯氢气样品谱图

高纯氮气

高纯Ar