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仪器特点
◆铸铁基座经过严格的时效处理,保证整体稳定性。
◆高牌号工作台,经过严格热处理时效,长期使用保证基准面不变形,导轨运行精度稳定。
◆采用优秀的无限远高倍率光学系统。
◆采用LED光源照明系统,保证高亮度,长寿面。
◆采用无间隙光杆传动工作台,保证测量精度。
◆超高的工作距离,采用步进电机升降,方便调节,自带DIC装置插槽。
◆*粗、微调焦装置,微调最小每格0.002mm。
◆贴近用户的灵活性,仪器的部件升级无需专业人员,用户可自行操作完成。
应用领域
该仪器适用于LED、硅晶片、精密零件、导电粒子彩色滤光片、手机屏幕、FPD模组半导体晶片、FPC-PCB、IC封装光盘CD、图像传感器、CCD、CMOS、PDA光源、薄膜等金相观察及精确测量行业。
技术参数
仪器型号 | RX-200 | RX-300 |
X,Y,Z向测量行程(mm) | 200x100x200 | 300x200x200 |
工作台面(mm) | 400x300 | 450x350 |
外形尺寸(mm) | 600x350x1040 | 700x450x1040 |
测量精度 | X,Y轴:(3+L/200)μm Z轴:(5+L/200)μm | |
重复精度 | 3μm | |
光栅尺分辨率 | 0.001mm | |
光学系统 | 无限远光学系统 | |
CCD | 高分辨率500万像素 | |
镜头 | 标准金相显微镜镜头(带偏光片组,LED灯源) | |
物镜 | 5X,10X,20X,50X | |
目镜筒 | 铰链式三目镜筒、30°倾斜、瞳距:55~75mm | |
目镜 | 高亮点、大视场目镜 | |
调焦组 | 粗、微调焦装置,微调最小每格0.002mm | |
数显装置 | 多功能数显表 | |
测量软件 | YR-J | |
上光源 | LED灯 | |
下光源 | 平行光路设计,无极连续可调LED冷光源 |
备注:根据客户需求,可特殊定制。