| LTHS2 | 运动范围XY（µm） | 75 | 分辨率XY（nm） | 0,075 | 典型的噪声基准 XY（nm） | 0,0075 | 的重复性XY（nm） | 0,15 | 线性化（典型的） | 0,02% | 谐振频率X / Y（Hz） | 1500/1000 | 刚度 (N/µm) | 2/2 | 负载（kg）-水平使用 | 0,5 | 负载（kg）-垂直使用 | 0,3 | 传感器 | Silicon HR sensor | 尺寸W x L x H (mm) | 152,5 x 190 x 18,5 | 材料 | Al | 电缆长度（m） | 2 | 推荐控制器 | Standard or High Speed |
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