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方块电阻测试仪是一种依照类似的国家标准和美国A.S.T.M标准,专门测量半导体薄层电阻(表面电阻)的新型仪器,可用于测量一般半导体材料、导电薄膜(ITO透明氧化膜),金属薄膜……等同类物质的薄层电阻。
该仪器以大规模集成电路为主要核心;用基准电源和运算放大器组成高精度稳流源;带回路有效正常指示电路;并配以大型LCD显示读数,使仪器具有体积小、重量轻、外形美、易操作、测量速度快、精度高的特点。
◆ 特点:
1 采用大规模集成电路作为仪器的主要部分,测量准确稳定,低功耗;
2 以大屏幕LCD显示读数,直观清晰;
3 采用单个电池供电,带电池欠压指示;
4 体积≤175mm X90mm X42mm,重量≤300g;
5 特制之手握式探笔,球形探针、镀金探针有效接触被测材料及保护薄膜
6 探头带抗静电模块
◆ 技术指标:
测量范围 按方块电阻量值大小分为二个量程档:
1.方块电阻 1.00~199.99Ω/□;
2.方块电阻 10.0~1999.9Ω/□;
恒流源 测量过程误差:≤±0.8%
模数转换器 量程:0~199.99mv;
分辨率:10μv;
方式:LCD大屏幕显示;极性,超量程均自动显示;小数点同步显示;
测量不确定度 在整个量程范围内,测量不确定度≤5%
四探针探头规格 间距:1mm、1.59mm、3.8mm;偏差≤2%;游移率≤0.3%;绝缘电阻≥500MΩ
电源 9V叠层电池1节