反应舱

材料：铝
有效尺寸：500×400×250mm
容积：50L
舱门：装有可视窗口
托盘：1个     尺寸：360×360mm

真空度测量

皮拉尼真空计

真空泵

干泵泵组

电源发生器

根据客户具体应用定制

控制系统

PLC可实现下列功能：

• 自动控制反应过程；
• 根据处理材料设定不同的处理工艺参数；
• 测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、射频发生器功率等指标；
• 监测所有的运行指标，保证各项参数在设定范围之内；
• 设定操作、维护密码。

电源

380V AC, 50Hz, 40A

反应气体

二个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC）

反应单体

独立液态单体输入系统

气体输入

直径1/4英寸（6.35mm） 管道；输入压力：1Bar

性能

急停开关；真空泵保护锁；高温保护锁；CE认证。