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大流量尘埃粒子在线检测系统
大流量28.3L在线检测系统,是我公司的,以*的技术,专业的研发队伍,研究出来一项符合新版GMP标准的监测系统!
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石墨舟装片房
产品说明:
石墨舟装片房是用于太阳能行业与PECVD承载车配套、装取硅片、配制中效及高效过滤器,确保吹出的空气达到净化要求。
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石墨舟冷却房
石墨舟冷却房是用于太阳能行业与PECVD承载车配套,经过滤的洁净空气用送风机分散吹向石墨舟,保证石墨舟快速冷却,冷却时间小于等于10分钟。
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